金宏气体：氩气可用于深紫外光刻激光器中半导体芯片的最小特征的图案上
2020-07-06 12:56
来源: 互联网
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上证报中国证券网讯 金宏气体(688106)6日在互动平台上回答投资者提问时表示，氩气被用于等离子沉积和蚀刻工艺，还可用于深紫外光刻激光器中半导体芯片的最小特征的图案上。
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