大族激光：目前暂无纳米级光刻机的研发计划

......

原标题：大族激光：目前暂无纳米级光刻机的研发计划有投资者在投资者互动平台提问：请问公司当前光刻机项目分辨率是3-5m，目前有没有研发下一代nm级的光刻机？大族激光5月12日在投资者互动平台表示，尊敬的投资者，您好！公司光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用。目前，暂无纳米级光刻机的研发计划，谢谢。

......