英诺激光回应了提问：可以产生深紫外光、极紫外光，理论上355nm激光光源经一次曝光后可变为175nm...
2021-07-30 15:41
来源: 深交所互动易
影响力评估指数：20
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投资者问：固态激光光源的优点是可变波长，可以产生深紫外光、极紫外光。理论上355nm激光光源经一次曝光后可变为175nm，二次曝光后变为86nm，经多次曝光后理论上可以应用于28nm以上光刻机。请问理论上这是可行吗？公司是否有开展光刻机的研究计划？谢谢
英诺激光(301021)：激光器的光学设计较为复杂，本着对负责的态度，公司无法简单答复您是否可行。敬请谅解！公司未来发展计划请关注公司公告。
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