敏芯股份取得单质量三轴MEMS加速度传感器和电子设备专利，增强产品可靠性，减小了扭摆位移量

2024年1月29日，苏州敏芯微电子技术股份有限公司获得了一项名为“单质量三轴MEMS加速度传感器和电子设备”的专利。该专利号为CN117192155B，申请日期为2023年11月。该专利提供了一种单质量三轴MEMS加速度传感器和电子设备。该传感器包括活动质量结构和边框，活动质量结构由第一可动梁、第二可动梁和锚点组成，通过连接部连接第一可动梁和第二可动梁。连接部的刚度大于第一可动梁和第二可动梁的刚度，通过连接部的设计可以减小活动质量结构在运动时的变形，增强产品可靠性，减小了扭摆位移量。