敏芯股份申请微机电三轴陀螺仪与电子设备专利,提高检测精度
原文发布时间: 2024-02-05 11:35   
来源: 水母GPT   
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2024年2月3日,苏州敏芯微电子技术公司公告了一项名为“微机电三轴陀螺仪与电子设备”的专利申请,申请号为CN117490671A,申请日期为2023年12月。该发明公开了一种微机电三轴陀螺仪,包括衬底、驱动组件(包括第一驱动框架和第二驱动框架)、第一检测组件、第二检测组件和第三检测组件(包括第一检测部和第二检测部)。第一检测部和第二检测部具有相同的振动频率,从而提高了检测精度。
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