南大光电取得半导体级四氯化铪的制备方法专利，确保收集到的四氯化铪纯度达到99.999％以上
原文发布时间: 2024-03-14 08:13
来源: 水母GPT
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2024年3月14日，江苏南大光电(300346)公司获得一项名为“半导体级四氯化铪的制备方法”的专利，授权公告号为CN114835160B，申请日期为2022年5月。该方法利用高真空减压升华工艺提纯固体源，确保四氯化铪的纯度达到99.999%以上，有效去除高沸点杂质。通过惰性手套箱的使用，产品不会吸潮腐蚀。该方法显著降低四氯化铪中的锆、铁、钛等金属无机离子含量，适用于14nm制程工艺要求的氧化铪沉积层制备。
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