【NAURAGO】北方华创助力先进封装产业腾飞
原文发布时间: 2024-04-19 12:05
来源: 水母GPT
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北方华创(002371)深耕集成电路装备产业，提供全面解决方案，包括TSV制造、刻蚀、薄膜沉积等工艺。PSE V300设备在TSV工艺中精准控制侧壁形貌，提高刻蚀均匀性；HSE D300设备具有高刻蚀速率和多种冷却方式；BMD P300设备提供Descum解决方案。采用PEALD沉积二氧化硅保护层，PVD设备解决金属扩散问题。
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