中微18个月造出150吨大平板设备 中国制造跑出加速度
2026-05-17 14:35
来源: 云财经
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云财经讯，在《对话》中，中微半导(688380)体设备(上海)股份有限公司董事长兼总经理尹志尧表示，2023年12月，中微决定进入大平板设备领域(此前大概有17种工艺设备全部依赖进口)。这种设备重达150吨，长15米宽15米，有两层半楼高。按照尹志尧的经验，开发这样的设备至少需要3-7年。但中微的精锐团队只用12个月就从一张白纸做出了可运转的设备，不到4个月就达到客户下一代要求，18个月就运到生产线上并通过核准。我们现在已经有能力来做最先进的设备。(央视财经)
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