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中微公司推出多款全新自主研发高端微观加工设备

2026-09-01 17:49    来源: 云财经    影响力评估指数:16.83  
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云财经讯,中微公司(688012)在CSEAC2026期间宣布推出多款全新自主研发的高端微观加工设备,覆盖极高深宽比刻蚀、等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积、金属薄膜沉积及碳化硅外延等关键领域。