阿斯麦称High NA EUV首次进入高产量逻辑芯片生产
2026-09-01 20:55
来源: 云财经
影响力评估指数：16.25
云财经讯，阿斯麦9月1日透露，其High NA EUV(高数值孔径极紫外光刻)平台首次用于高产量逻辑芯片产品，标志着0.55 NA光刻技术从认证阶段迈向生产应用。
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