晶盛机电：目前公司已基本实现8-12英寸大硅片设备全覆盖并批量销售

云财经讯，晶盛机电(300316)近期在接受调研时表示，目前公司已基本实现8-12寸大硅片设备的全覆盖并批量销售，6寸碳化硅外延设备实现批量销售且订单量快速增长，成功研发出具有国际先进水平的8寸单片式碳化硅外延生长设备，实现了成熟稳定的8寸碳化硅外延工艺。同时公司基于产业链延伸，开发出了应用于8-12寸晶圆及封装端的减薄设备、外延设备、LPCVD设备、ALD设备等。