拓荆科技取得半导体薄膜制造装置和方法专利，可实现一种制造半导体薄膜的装置和方法
2023-12-01 15:14
来源: 水母GPT
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2023年12月1日，拓荆科技(688072)股份有限公司获得一项关于制造半导体薄膜的装置和方法的专利，授权公告号为CN114686849B，申请日期为2020年12月。该装置包括腔室、喷淋板、晶圆承载盘体和抽气部件。
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