凯世通发布面向CIS的大束流离子注入机

SEMICON China 2024上海国际半导体展览会于3月20日-22日举办。万业企业(600641)旗下凯世通公司发布面向CIS的大束流离子注入机新产品。凯世通自主研发适用于CIS器件的低能大束流离子注入机，设备成熟稳定，具备金属污染控制、高精度注入角度控制等特点。张长勇表示，CIS市场发展迅速，新兴应用催生市场壮大，对离子注入机技术要求高。凯世通通过技术创新满足了CIS市场需求，未来将提升产品竞争力，丰富产品线，为客户提供更多卓越装备。