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北方华创创新推出高介电常数原子层沉积设备并获业界认可

原文发布时间: 2024-03-27 19:22    来源: 水母GPT    影响力评估指数:10   消息收藏夹   收藏 已收藏
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近期,北方华创(002371)12英寸高介电常数原子层沉积设备Scaler HK430稳定量产,获批量订单,市占率攀升。采用HfO2作为栅介质层,结合金属栅极技术,研发HKMG工艺,在45nm及以下节点占核心地位。北方华创(002371)推出Scaler HK430凭借技术积累、性能、产能优势,成国内HiK量产生产线主力。未来将加快科技创新步伐,推进CVD先进工艺设备研发,提供高效解决方案,推动半导体装备技术发展。
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