上海微系统所卫星激光通信用高精度MEMS快反镜取得进展
2025-05-07 10:53
来源: 云财经
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云财经讯，中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感器技术全国重点实验室研制的MEMS快反镜的镜面尺寸大，封装体积小。线性度高，角分辨率佳，响应速度快，重复定位精度高，镜面动态形变小。
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