江丰电子取得铜靶材及其制备方法专利,提升了溅射速率和镀膜质量
原文发布时间: 2024-03-25 13:51   
来源: 水母GPT   
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2024年3月25日,宁波江丰电子(300666)材料股份有限公司获得一项名为“一种铜靶材及其制备方法”的专利(授权公告号CN丰山转债(113649)509B)。该发明提供了一种铜靶材及其制备方法,包括切料、锻伸、热处理、冷锻、压制和抛光等步骤。其中,热处理温度分别为290-310℃和250-270℃,有助于减少铜靶材内部缺陷,改善晶粒细化程度,提高溅射薄膜的均匀性和镀膜质量,从而提升溅射速率。
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