消息称三星电子为平泽P5晶圆厂PH1阶段下达70余台光刻机订单
2026-04-07 10:35
来源: 云财经
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云财经讯，三星电子已为平泽半导体生产基地P5晶圆厂集群的首个阶段PH1订购了70余台光刻机，为该阶段2027年的投运做好准备。平泽P5 PH1所需的这些光刻机来自ASML和佳能，其中约20台为ASML的EUV曝光系统。P5 PH1将用于1c nm制程DRAM生产，将同时制造通用内存和HBM。 (nate)
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