我国新一代光刻机模型亮相
2026-11-08 16:37
来源: 云财经
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云财经讯，11月5日至10日，第九届中国国际进口博览会在上海举行。会上，一系列重磅科技亮相。上海微电子装备集团携自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800(模型)亮相中国馆，展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。据悉，目前国产前道干式光刻机成像性能已与国际同类领先产品水平相当，套刻精度、生产效率紧密追赶国际标杆。(上证报)
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